SENS4真空传感器VPM-7 SmartPirani ATM

品　　牌：SENS4
型　　号：VPM-7 SmartPirani ATM
技术资料： SEN4真空传感器VPM-7 SmartPirani ATM.pdf
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产品介绍

VPM-7 SmartPirani ATM 传感器专为半导体负载锁压力控制以及其他需要准确测量相对于大气环境压力的压力的真空应用而设计。与传统的负载锁传感器和其他负载锁传感器解决方案相比，它具有更高的性能，测量范围更广、精度更高、测量周期更短。SmartPirani ATM 将热导率皮拉尼热损耗真空计的可用测量范围扩展了 1-3 个数量级，树立了新的行业标准。

性能特点

一体化多传感器变送器解决方案
测量和控制负载锁定过程：VPM-7 SmartPirani ATM 专为真空气体压力测量和控制而设计。多种输出选项可提供除压力测量信号之外的更多功能。
模拟输出：模拟输出电压提供用于外部监测或控制的信号。VPM-7 提供每十倍频程 1 VDC 的标准电压输出，单位为毫巴 (mbar)、托 (Torr) 或帕斯卡 (Pa)。
数字接口：RS-232 和 RS-485 串行接口便于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
耐腐蚀传感器：通常情况下，负载锁装置环境清洁，不含腐蚀性气体。然而，可选的耐腐蚀传感器使得 VPM-7 SmartPirani ATM 能够应用于存在腐蚀性化学品或残留蚀刻气体的场合。
其他供应商即插即用兼容性：VPM-7 SmartPirani ATM 传感器可直接替换传统的负载锁定真空传感器。
定制设置：VPM-7 SmartPirani ATM 传感器可根据具体应用需求进行定制，使其能够立即投入特定设备配置中使用。预配置选项包括测量范围、真空压力单位、设定点配置和输出信号缩放。定制单元将被分配一个零件编号，以便日后轻松重新订购。

技术参数

产地	丹麦
测量范围	1×10^-6至 1333 mbar (7.5×10^-7至 1000 托)
测量原理（1×10^-6至 1.5 mbar）	MEMS 皮拉尼热导率
测量原理（1.5 至 2 mbar）	MEMS 皮拉尼/压电混合读数
测量原理（2 至 1333 mbar）	MEMS 压阻膜片
精度（1×10^-5至 9.99×10^-5	读数的 25%
精度（1×10^-4至 7.99 mbar）	读数的 5%
精度（8.00 至 99.9 mbar）	读数的 1%
精度（100 至 800 mbar）	读数的 0.5%
精度（800 至 1099 mbar）	读数的 0.25%
精度1100 至 1333 mbar	读数精度 0.5%
1×10^-3至 10 mbar（ISO19685:2017）滞后	1%
10 至 1333 mbar（ISO19685:2017）滞后	0.1%
模拟输出分辨率	16 位 (150 μV)
模拟输出更新频率	124 Hz
响应时间（ISO 19685:2017）	<20 ms
温度补偿	+10 至 +50 °C
固态继电器设定点范围	5×10^-6至 1333 mbar (3.75×10^-6至 1000 Torr)
固态继电器触点额定值	50 V，100 mArms / mADC
工作环境温度	-20 至 +50 °C
介质温度	-20 至 +50 °C
存储环境温度	-40 至 +120 °C
烘烤温度（非工作状态）	+120 °C
介质压力	10 bar abs.压力
安装位置	任意
防护等级，EN 60529/A2:2013	IP40
湿度，IEC 68-2-38	98%，无冷凝
外壳	SS 1.4307 / AISI 304L / 铝合金 6061
真空工艺法兰（介质接触面）	SS 1.4401 / AISI 316
真空暴露材料（介质接触面）标准版	316 不锈钢、科瓦合金、玻璃、硅、镍、铝、二氧化硅、氮化硅、金、氟橡胶、低挥发性环氧树脂、焊料、RO4305
真空暴露材料（介质接触面）聚对二甲苯保护版	316不锈钢、氟橡胶、聚对二甲苯
真空暴露材料（介质接触）陶瓷保护型	316不锈钢、氟橡胶、氧化铝陶瓷（Al₂O₃）
工艺泄漏密封性	<1×10^-9mbar·l/s
平均故障间隔时间 (MTBF)	13,092,170 小时
故障率 (FIT，其中时间=10×10⁹小时)	76.38

产品应用

半导体

物理气相沉积涂层

质谱仪

空间模拟

电子显微镜

炉子

SENS4真空传感器VPM-7 SmartPirani ATM

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性能特点

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